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| 題 名 | 以薄膜技術發展自供太陽能電力電子電路模組 |
|---|---|
| 作 者 | 沈昌宏; 黃文賢; 謝嘉民; | 書刊名 | 電子月刊 |
| 卷 期 | 18:3=200 2012.03[民101.03] |
| 頁 次 | 頁86-97 |
| 專 輯 | 半導體與光電製程設備專輯 |
| 分類號 | 468.1 |
| 關鍵詞 | 高密度電漿; 太陽能電池; 電晶體; 可撓式基板; 超高頻率電漿輔助式化學氣相沉積; Very high-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition; VHF PECVD; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本實驗室發表一高密度電漿矽薄膜沉積技術,此技術可用來製造高效率且低成本之薄膜太陽能電池,並可將此電池整合進電晶體模組中。本實驗室在140℃下,成功製造薄膜太陽能電池達到9.6%光電轉換效率,所製造之電晶體其電子遷移率也達到1.1 cm2/V-s,元件在90℃和60℃之製程溫度下也將被深入探討。藉由此低溫薄膜沉積技術,我們將可以整合電子元件於價格低廉、可撓式之基板上,以達到能源充沛利用的成果。並製備不同奈米尺寸奈米金屬與介電粒子,運用低溫奈米粒子自組裝技術(self-assembly),成功將不同尺寸之奈米金屬及介電粒子均勻分佈於不同基板表面,並能維持入射光穿透度而增加背向散射特性;已成功應用非晶矽薄膜太陽能電池,增加15%光電流及6.9%光電轉換效率。 |
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