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來源資料
臺灣奈米會刊
34 2013.09[民102.09]
頁64-71
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題 名
原子層氣相沉積法成長高介電常數奈米顆粒氧化鋅陣列超級電容=Growth High K Nano-phase Zinc Oxide as Nano-supercapacitor Arrays by Atomic Layer Deposition
作 者
韓謝忱
;
陳貴賢
;
林麗瓊
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷 期
34 2013.09[民102.09]
頁 次
頁64-71
分類號
448.533
關鍵詞
原子層氣相沉積法
;
奈米氧化鋅
;
高介電常數
;
電容元件
;
語 文
中文(Chinese)
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