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來源資料
臺灣奈米會刊
34 2013.09[民102.09]
頁54-63
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題名
次15奈米鰭寬之矽基底鰭式場效電晶體元件=A Sub-15nm Wide FinFET Transistor with Si-based Shallow Trench Isolation
作者
何家驊
;
陳奕如
;
林家毅
;
侯蘊芳
;
林昌賢
;
呂如梅
;
李愷信
;
賴東彥
;
吳政三
;
吳柏偉
;
陳旻政
;
楊富量
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷期
34 2013.09[民102.09]
頁次
頁54-63
分類號
448.552
關鍵詞
鰭式場效電晶體
;
矽基底晶片
;
FinFET
;
語文
中文(Chinese)
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