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題 名 | 以分離元件製作的智慧型熱傳導真空計之研究=Thermal Conductivity Vacuum Gauge Constructed by Using Discrete Components |
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作 者 | 林寶德; 呂明峰; | 書刊名 | 明新學報 |
卷 期 | 38:2 2012.08[民101.08] |
頁 次 | 頁1-12 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 派藍尼真空計; 熱傳導真空計; 熱傳導; 智慧型感測器; Pirani gauge; Thermal conductivity gauge; Thermal conductivity; Smart sensor; |
語 文 | 中文(Chinese) |