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題 名 | 溶膠凝膠法製備ZnO-RuO₂透明半導體薄膜之特性研究=Characteristics of Sol-Gel Derived ZnO-RuO₂ Transparent Semiconductor Films |
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作 者 | 鄭建星; 楊博文; | 書刊名 | 遠東學報 |
卷 期 | 28:3 2011.09[民100.09] |
頁 次 | 頁279-284 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 氧化鋅; 透明導電膜; 溶膠凝膠; ZnO; Transparent conductive oxide; Sol-gel; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | ZnO在可見光的照射之下呈現透明,RuO2為黑藍色的氧化物且具有良好的導電性(電阻率35 Ω-cm)。當在ZnO中加入RuO2,則所製造出來的ZnO- RuO2薄膜可具有透明性,同時藉由RuO2的添加亦可調變其導電性。本研究以三氯化釕(Ruthenium(III) chloride)為RuO2的前驅液,以醋酸鋅(Zinc acetate)為ZnO的前驅液,利用溶膠凝膠法(sol-gel)配合旋轉塗佈法(spin coating)製備ZnO- RuO2複合薄膜,研究改變不同的製程參數,探討製程參數如何影響ZnO- RuO2複合薄膜的材料性質。 |
英文摘要 | ZnO is transparent in the visible region. RuO2 with a tetragonal rutile structure is a deep black-blue oxide with good conductivity (i.e., the resistivity of RuO2 is 35 Ω-cm in bulk single crystal.). A ZnO-RuO2 composite film can be fabricated by adulterating ZnO into a conductive RuO2 film, which increases the conductivity as well as the transparency of the ZnO-RuO2 composite film. This study carried out the fabrication of ZnO-RuO2 composite film by using the sol-gel process method. In particular, this study involved a series of studies related to surface morphology, crystal structures, and transmittance of the ZnO-RuO2 composite films. We explored the correlation between the ZnO/RuO2 ratio and the annealing temperature for ZnO-RuO2 composite films. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。