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題 名 | 超高頻PECVD成長微晶矽薄膜=Growth of Microcrystalline Silicon Thin Film by Using 40.68 MHz PECVD System for Solar Cell Application |
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作 者 | 董福慶; 吳佩珊; 金崇碩; 張翼; 黃金花; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 338 2011.05[民100.05] |
頁 次 | 頁97-104 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 微晶矽; 薄膜沉積; 電漿輔助化學氣相沉積; Microcrystalline silicon; Thin Film deposition; PECVD; |
語 文 | 中文(Chinese) |