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題 名 | 矽薄膜太陽電池鍍膜設備之電漿放射光譜分析儀監控簡介=The Plasma Optical Emission Spectrometer Monitoring Design and Study of Silicon Thin Film Solar Cell Equipment |
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作 者 | 林冠宇; 杜陳忠; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 338 2011.05[民100.05] |
頁 次 | 頁52-63 |
專 輯 | 光電產業設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 電漿輔助化學氣相沉積設備; 電漿成分光譜分析儀; 回饋控制; 比例積分控制器; 製程訊號飄移; Plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD; Optical emission spectroscopy; OES; Feedback control; Proportional-integral controller; Process signal drift; |
語 文 | 中文(Chinese) |