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題名 | Development and Implementation of Ultrahigh Vacuum Robot System for Semiconductor Wafer-Handling=超高真空半導體晶圓搬運機械手臂系統之開發與實現 |
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作者 | 陳献忠; | 書刊名 | 新新科技年刊 |
卷期 | 7 2011.01[民100.01] |
頁次 | 頁75-91 |
分類號 | 448.94 |
關鍵詞 | 晶圓搬運; 機械手臂; 超高真空; 磁力聯軸器; 運動控制; Wafer-handling; Robot; Ultrahigh vacuum; Magnetic coupling; Motion control; |
語文 | 英文(English) |