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來源資料
電子月刊
17:3=188 2011.03[民100.03]
頁127-135
電機工程
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電燈廠
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題名
淺談淺接面之非接觸式片電阻與漏電流量測--表面光電效應之應用
作者
鄭子彥
;
書刊名
電子月刊
卷期
17:3=188 2011.03[民100.03]
頁次
頁127-135
專輯
半導體與光電製程設備專輯
分類號
448.57
關鍵詞
片電阻
;
漏電流
;
四點探針
;
非接觸式量測
;
淺接面
;
語文
中文(Chinese)
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