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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:3 2001.08[民90.08]
頁1-6
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題名
銅金屬與矽化鈷淺接面之整合研究
作者姓名(中文)
吳文發
;
楊文祿
;
游信強
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷期
8:3 2001.08[民90.08]
頁次
頁1-6
分類號
448.532
關鍵詞
銅
;
矽化鈷淺接面
;
積體電路
;
語文
中文(Chinese)
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