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| 題 名 | 高導熱類鑽碳奈米薄膜技術及應用=The Application of High Thermal Conductive Diamond Like Carbon Nano-Thin Film |
|---|---|
| 作 者 | 呂明生; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
| 卷 期 | 22 2010.09[民99.09] |
| 頁 次 | 頁34-40 |
| 專 輯 | 奈米光電 |
| 分類號 | 440.34 |
| 關鍵詞 | 類鑽碳膜; 高密度電漿; 電弧離子披覆; 物理氣相沈積法; 化學氣相沈積法; 濺鍍; Diamond like carbon film; DLC; High density plasma; Arc ion plating; Physical vapor deposition; PVD; Chemical vapor deposition; CVD; Sputtering; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |