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題名 | 高導熱類鑽碳奈米薄膜技術及應用=The Application of High Thermal Conductive Diamond Like Carbon Nano-Thin Film |
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作者姓名(中文) | 呂明生; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷期 | 22 2010.09[民99.09] |
頁次 | 頁34-40 |
專輯 | 奈米光電 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 類鑽碳膜; 高密度電漿; 電弧離子披覆; 物理氣相沈積法; 化學氣相沈積法; 濺鍍; Diamond like carbon film; DLC; High density plasma; Arc ion plating; Physical vapor deposition; PVD; Chemical vapor deposition; CVD; Sputtering; |
語文 | 中文(Chinese) |