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題名 | 高導熱類鑽碳薄膜技術及應用=The Manufacture and Application of Diamond-like Carbon Films |
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作者姓名(中文) | 呂明生; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 259 2008.07[民97.07] |
頁次 | 頁134-140 |
專輯 | 熱管理技術專題 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 類鑽碳膜; 高密度電漿離子被覆; 物理氣相沈積法; 化學氣相沈積法; 濺鍍; Diamond-like carbon film; DLC; High density plasma ion plating; Physical vapor deposition; PVD; Chemical vapor deposition; CVD; Sputtering; |
語文 | 中文(Chinese) |