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| 題 名 | 微機電創新設計--差動電容式雙軸加速度感測元件=A Novel Differential Capacitive-Sensing Dual-Axis Accelerometer Design |
|---|---|
| 作 者 | 詹竣凱; 徐家保; 吳名清; 方維倫; | 書刊名 | 奈米通訊 |
| 卷 期 | 17:2 2010.06[民99.06] |
| 頁 次 | 頁30-35 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 微機電; 加速度計; 電容式; 擺錘型質量塊; 環形彈簧; Micro electro-mechanical systems; Accelerometer; Pendulum-proofmass; Capacitive; Gimbal-spring; HARM; High aspect ratio micromachined; MOSBE platform; Molded surface micromachining and bulk etching release; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |