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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
22 2009.12[民98.12]
頁65-82
電機工程
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電燈;照明電器
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題 名
電容式加速度計技術
作 者
許郁文
;
陳振頤
;
簡欣堂
;
林志修
;
廖律普
;
陳士
;
林式庭
;
王地寶
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷 期
22 2009.12[民98.12]
頁 次
頁65-82
分類號
448.5
關鍵詞
電容式加速度計
;
微機電加速度計
;
感測元件
;
語 文
中文(Chinese)
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