查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題 名 | 3D IC 檢測技術=3D IC Metrology |
---|---|
作 者 | 顧逸霞; | 書刊名 | 化工資訊與商情 |
卷 期 | 79 2010.01[民99.01] |
頁 次 | 頁46-50 |
專 輯 | 奈米量測技術專題 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 矽通孔; 對準; 紅外顯微檢測技術; 反射儀; Through silicon via; TSV; Alignment; Infrared microscopy; Reflectometer; |
語 文 | 中文(Chinese) |