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來源資料
電子月刊
15:8=169 2009.08[民98.08]
頁86-95
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題 名
雙傾斜之影像疊合法量測100nm以下線寬技術研究
作 者
劉惠中
;
潘善鵬
;
陳朝榮
;
陳智榮
;
陳炤彰
;
書刊名
電子月刊
卷 期
15:8=169 2009.08[民98.08]
頁 次
頁86-95
專 輯
量測技術與設備專輯
分類號
471.713
關鍵詞
原子力顯微鏡
;
關鍵尺寸
;
線寬量測
;
語 文
中文(Chinese)
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