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題 名 | 淺談微振動對於精密半導體微影設備的影響 |
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作 者 | 孫彥碩; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 219 2001.06[民90.06] |
頁 次 | 頁134-140 |
專 輯 | 精密機械技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 關鍵尺寸; 曝光廣度; 焦距深度; 數值光圈; 位移標準差; 製程視窗; Critical dimension; Exposure latitute; Depth of focus; Numerical aperature; MSD; Process window; |
語 文 | 中文(Chinese) |