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題名 | 淺談微振動對於精密半導體微影設備的影響= |
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作者 | 孫彥碩; |
期刊 | 機械工業 |
出版日期 | 200106 |
卷期 | 219 2001.06[民90.06] |
頁次 | 頁134-140 |
分類號 | 448.552 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 關鍵尺寸; 曝光廣度; 焦距深度; 數值光圈; 位移標準差; 製程視窗; Critical dimension; Exposure latitute; Depth of focus; Numerical aperature; MSD; Process window; |