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題 名 | 散射儀於半導體奈米製程檢測之應用=Scatterometry for Semiconductor Manufacturing Process Control |
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作 者 | 顧逸霞; 陳燦林; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 267 2005.06[民94.06] |
頁 次 | 頁119-126 |
專 輯 | 奈米機械技術專輯 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 散射儀; 散射特性圖譜; 關鍵尺寸; Scatterometer; Scattering signature; Critical dimension; CD; |
語 文 | 中文(Chinese) |