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題名 | Cr-Si合金顯微結構與薄膜電性分析=Cr-Si Alloy Microstructures and Thin Film Electrical Properties |
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作者 | 黃泓憲; 陳貞光; 洪胤庭; 董寰乾; Huang, H. H.; Chen, J. K.; Hong, I. T.; Tung, H. C.; |
期刊 | 鑛冶 |
出版日期 | 20090900 |
卷期 | 53:3=207 2009.09[民98.09] |
頁次 | 頁33-38 |
分類號 | 454.1 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 粉末冶金; 電阻薄膜; 非晶; CrSi₂; Powder metallurgy; Resistance thin film; Amorphous; |