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題 名 | 半導體晶圓級電化學沈積系統之設計考量 |
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作 者 | 許明哲; 詹印豐; 顏錫鴻; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 15:3=164 2009.03[民98.03] |
頁 次 | 頁88-96 |
專 輯 | 半導體製程設備專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 極限電流密度; 擴散邊界層; 質量傳輸; 電場和尖端效應; 晶種層; 接觸電阻; Limiting current density; Diffusion boundary layer; Mass transfer; Electric potential and terminal effect; Seed layer; Contact resistance; |
語 文 | 中文(Chinese) |