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來源資料
明新學報
35:1 2009.02[民98.02]
頁57-61
相關文獻
金屬閘極與高介電常數絕緣層
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題名
金屬閘極與多晶矽閘極在高介電常數閘極介電層N型金氧半場效電晶體之研究=Study on Metal Gate and Poly-Si Gate NMOSFET with High-k Dielectric Gate
作者姓名(中文)
陳啟文
;
黃厚智
;
陳穎達
;
賴信誠
;
葉文冠
;
陳育廷
;
書刊名
明新學報
卷期
35:1 2009.02[民98.02]
頁次
頁57-61
分類號
448.552
關鍵詞
高介電常數
;
金屬閘極
;
Metal gate
;
High-k dielectric
;
語文
中文(Chinese)
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