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題 名 | 熱寫式雷射光束直寫微影技術與應用=Thermal Mode Laser Beam Direct-Write Lithography Technology and Applications |
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作 者 | 楊錦添; | 書刊名 | 臺灣奈米會刊 |
卷 期 | 13 2008.06[民97.06] |
頁 次 | 頁31-42 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微影; 熱寫式微影; 無機光阻; 奈米結構; 轉印母模; 光學繞射極限; Lithography; Thermal mode lithography; Inorganic resist; Nano structure; Stamping mold; Optical diffraction limit; |
語 文 | 中文(Chinese) |