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題名 | 製作大粒徑低溫多晶矽之雷射再結晶技術 |
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作者 | 郭啟全; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 14:6=155 2008.06[民97.06] |
頁次 | 頁157-172 |
專輯 | 光電專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 大粒徑多晶矽; 雷射結晶技術; 單晶矽薄膜電晶體; Large grain poly-Si; Laser crystallization; Single-grain Si TFTs; |
語文 | 中文(Chinese) |