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題 名 | 製作高品質多晶矽薄膜電晶體之先進雷射結晶技術發展與應用=Advanced Laser Crystallization Technology for High-quality Polycrystalline Silicon Thin-film Transistors Application |
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作 者 | 郭啟全; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 322 2010.01[民99.01] |
頁 次 | 頁73-86 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 多晶矽薄膜; 薄膜電晶體; 先進雷射結晶技術; Polycrystalline silicon; Thin-film transistors; Advanced laser crystallization technology; |
語 文 | 中文(Chinese) |