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題 名 | Solidification Analysis on Fabrication of Poly-Si Thin Films by Using Laser Crystallized Technology=雷射結晶技術製造多晶矽薄膜之凝固分析 |
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作 者 | 張建宏; 趙隆山; | 書刊名 | 航空技術學院學報 |
卷 期 | 7:1 2008.08[民97.08] |
頁 次 | 頁247-256 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 多晶矽薄膜; 雷射結晶技術; 等效比熱熱焓法; Poly-Si thin film; Laser crystallized technology; Specific heat/enthalpy method; |
語 文 | 英文(English) |