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題名 | 雷射熱源在多晶矽薄膜製程之熱傳分析=Heat-Transfer Analysis on the Fabricated Process of Poly-Si Thin Film by Using Laser Heat Source |
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作者 | 張建宏; 趙隆山; Chang, Chien-hung; Chao, Long-sun; |
期刊 | 航空技術學院學報 |
出版日期 | 20030800 |
卷期 | 2:1 2003.08[民92.08] |
頁次 | 頁149-158 |
分類號 | 448.5 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 多晶矽薄膜; 準分子雷射; 凝固; Poly-Si thin film; Excimer laser; Solidification; |