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題名 | 低溫多晶矽之自動化晶粒尺寸分析=Automatic Grain Size Analysis of Low-Temperature Polycrystalline Silicon |
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作者 | 郭啟全; 吳崑瑋; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 307 2008.10[民97.10] |
頁次 | 頁102-111 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 低溫多晶矽; 自動化晶粒尺寸分析; 準分子雷射結晶技術; Low temperature polycrystalline silicon; Automatic grain size analysis; Excimer laser crystallization; |
語文 | 中文(Chinese) |