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題 名 | 氧化鋅鋁透明導電膜之製備及其機械性質之研究=Preparation and Mechanical Properties of Aluminum Zinc Oxide Transparent Conducting Films |
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作 者 | 張守一; 蕭彥志; 黃奕中; | 書刊名 | 興大工程學刊 |
卷 期 | 18:1 2007.03[民96.03] |
頁 次 | 頁1-13 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 磁控濺鍍; 透明導電膜; 機械性質; Magnetron sputtering; Transparent conducting films; Mechanical properties; |
語 文 | 中文(Chinese) |