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來源資料
電子月刊
15:9=170 2009.09[民98.09]
頁103-116
相關文獻
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匯出書目
題 名
金屬閘極與高介電常數絕緣層
作 者
林志謀
;
沈上淵
;
顏志坤
;
陳貞夙
;
書刊名
電子月刊
卷 期
15:9=170 2009.09[民98.09]
頁 次
頁103-116
專 輯
IC製程技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
金屬閘極
;
高介電常數
;
界面缺陷
;
語 文
中文(Chinese)
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