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來源資料
電子月刊
13:3=140 2007.03[民96.03]
頁200-206
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題 名
非晶矽雷射退火結晶技術及相關設備
作 者
陳叔平
;
謝嘉民
;
林鈺庭
;
陳智
;
王怡超
;
潘犀靈
;
書刊名
電子月刊
卷 期
13:3=140 2007.03[民96.03]
頁 次
頁200-206
專 輯
半導體製程設備專輯
分類號
448.552
關鍵詞
非晶矽雷射退火
;
結晶
;
複晶矽薄膜電晶體
;
語 文
中文(Chinese)
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