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題 名 | 淺談低溫複晶矽薄膜電晶體面板製造與大面積化之挑戰 |
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作 者 | 張鈞傑; 莊景桑; 陳志強; 陳佳榆; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷 期 | 10:2=103 2004.02[民93.02] |
頁 次 | 頁188-212 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 低溫複晶矽薄膜電晶體; 雷射結晶; 離子植入; 檢測; LTPS TFT; Low temperature poly-silicon TFT; Laser crystallization; Ion implantation; Inspection; |
語 文 | 中文(Chinese) |