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題 名 | 創新軟微影製程技術製作微型滾筒模仁=Novel Method for Micro/Mini Roller Mold Using Soft-Lithography Technique |
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作 者 | 黃萌祺; 林正軒; 張復瑜; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 288 2007.03[民96.03] |
頁 次 | 頁106-110 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 軟微影製程技術; 電化學蝕刻; 微圖樣圓柱模仁; 捲式製程; Soft-lithography; Electro-chemical engraving; Micro roller mold; Roll-to-roll; |
語 文 | 中文(Chinese) |