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| 題 名 | 使用於掃瞄穿隧顯微鏡(STM)之奈米級探針其自動化蝕刻製作 |
|---|---|
| 作 者 | 黃俊元; 尤信介; 蘇炎坤; | 書刊名 | 電子月刊 |
| 卷 期 | 17:12=197 2011.12[民100.12] |
| 頁 次 | 頁158-167 |
| 分類號 | 448.59 |
| 關鍵詞 | 掃瞄穿隧顯微鏡探針; 電化學蝕刻; Labview自動控制; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本文主要介紹利用簡單的圖控式電腦程式語言Labview,控制使用於掃瞄穿隧電子顯微鏡(STM)之奈米級鎢絲探針其電化學蝕刻製作過程,以獲得最佳之探針針尖。電化學蝕刻法製作STM鎢絲探針是目前最普遍也最便宜的作法,藉由給定適當的偏壓(<12伏特),鎢絲線逐漸被蝕刻液蝕刻且蝕刻速率最快的地方出現在液面,因此,當液面下鎢絲線斷裂的瞬間,斷裂處即形成針尖狀。此時應立即移除給定偏壓(關閉電源),否則液面處針尖繼續蝕刻,針尖鈍化則會導致探針製作失敗。若只用人眼觀察並手動切斷電源容易造成針尖鈍化。我們撰寫一自動控制程式,利用鎢絲線斷裂的瞬間其電流差分呈現最大值的特性,即時監控電流大小,當電流差分值大於設定值時,程式自動切斷電源供給,其反應時間小於100毫秒。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。