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來源資料
工程科技通訊
88 民95.10
頁51-54
電機工程
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積體化微結構製備技術之研究[國科會研究計畫編號:NSC-93-2212-E-006-027第二年成果報告]
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題 名
積體化微結構製備技術之研究[國科會研究計畫編號:NSC-93-2212-E-006-027第二年成果報告]
作 者
鍾震桂
;
書刊名
工程科技通訊
卷 期
88 民95.10
頁 次
頁51-54
分類號
448.57
關鍵詞
積體化微結構製備技術
;
厚膜光阻
;
精密電鑄
;
犧牲層技術
;
語 文
中文(Chinese)
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