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來源資料
沙鹿高工學報
12 民93.05
頁53-62
電機工程
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題名
類LIGA製程應用於微光開關之研製
作者
趙俊傑
;
楊啟榮
;
書刊名
沙鹿高工學報
卷期
12 民93.05
頁次
頁53-62
分類號
448.57
關鍵詞
微機電
;
光開關
;
厚膜光阻技術
;
SU-8技術
;
語文
中文(Chinese)
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