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來源資料
工程科技通訊
89 民95.12
頁148-153
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相關文獻
矽晶圓上的異質奈米結構選擇性磊晶成長之研究[國科會研究計畫: NSC-93-2214-E-011-017]
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題 名
矽晶圓上的異質奈米結構選擇性磊晶成長之研究[國科會研究計畫: NSC-93-2214-E-011-017]
作 者
洪儒生
;
劉智生
;
書刊名
工程科技通訊
卷 期
89 民95.12
頁 次
頁148-153
分類號
448.57
關鍵詞
矽晶圓
;
異質奈米結構
;
磊晶成長
;
語 文
中文(Chinese)
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