查詢結果分析
來源資料
頁籤選單縮合
題 名 | Mechanical Properties of Photoresist Thin Films at Various Temperature=不同溫度下光阻薄膜之機械性質 |
---|---|
作 者 | 張瑞慶; 陳峰元; 楊寶翔; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 27:2 民95.04 |
頁 次 | 頁235-240 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 光阻薄膜; 機械性質; 旋轉塗佈法; Photoresist; Thin film; Nanoindentation; Spin coating; |
語 文 | 英文(English) |