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題名 | 以反應性射頻磁控濺鍍法在PET基材上製備氮化鈦薄膜與特性分析=Preparation and Characterization of Titanium Nitride Thin Film Deposited on Polyethylene Terepthalate by Reactive Radio Frequency Magnetron Sputtering |
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作者 | 林明志; 張立信; Lin, M. C.; Chang, L. S.; |
期刊 | 材料科學與工程 |
出版日期 | 20060300 |
卷期 | 38:1 民95.03 |
頁次 | 頁56-60 |
分類號 | 440.35 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 反應性磁控濺鍍; PET基材; 氮化鈦薄膜; Reactive magnetron sputtering; PET; TiN; |