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題名 | 以反應性射頻磁控濺鍍法在聚對苯二甲酸乙二醇酯基材上製備氮化鈦薄膜與特性分析 |
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作者姓名(中文) | 林明志; 張立信; | 書刊名 | 真空科技 |
卷期 | 19:3 民95.12 |
頁次 | 頁4-11 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 反應性磁控濺鍍; 聚對苯二甲酸乙二醇酯基材; 氮化鈦薄膜; 透水率; 透氧率; Titanium nitride; RF reactive radio frequency magnetron sputtering; PET; Water vapor rate; Oxygen transmission rate; |
語文 | 中文(Chinese) |