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題 名 | 微陣列式熱致動器應用在微光學元件運動模式之探討=Investigation of Micro-Array Thermal Actuator Applied on the Motion Behavior of Micro Optical Device |
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作 者 | 蔡健忠; 楊才賢; 黃逸超; 曾曜晨; 鄭伯庭; | 書刊名 | 明新學報 |
卷 期 | 30 民93.11 |
頁 次 | 頁137-147 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微機電; 微陣列式熱致動器; 微面鏡; 微光學元件; MEMS; Micro-array thermal actuator; Micro mirror; Micro optical devices; |
語 文 | 中文(Chinese) |