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題名 | 具精細調整功能之微光學元件的運動模式探討=Motion Behavior Investigation of a Novel Elevating Structure with Fine Tuning for Micro Optical Devices |
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作者 | 蔡健忠; 蔡尚哲; 黃奕澄; 范振豪; 陳炳茂; Tsai, Chien-chung; Tsai, Shang-che; Huang, Yi-cheng; Fan, Zhen-hao; Chen, Bing-mau; |
期刊 | 明新學報 |
出版日期 | 20060800 |
卷期 | 32 民95.08 |
頁次 | 頁169-181 |
分類號 | 448.59 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微陣列式熱致動器; 微面鏡; 微光學元件; 微調結構; Micro array thermal actuator; MATA; Micro mirror; Micro optical devices; Fine tuning structure; |