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來源資料
明新學報
29 民92.07
頁27-36
電機工程
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題名
微陣列式熱致動器在微光機電之應用研究=Investigation of Micro-Array Thermal Actuator for Optical MEMS
作者姓名(中文)
蔡健忠
;
許池榮
;
胡建煜
;
書刊名
明新學報
卷期
29 民92.07
頁次
頁27-36
分類號
448.57
關鍵詞
熱致動器
;
微機電系統
;
微陣列式熱致動器
;
Thermal actuator
;
MEMS
;
Micro array thermal Actuator
;
語文
中文(Chinese)
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