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題名 | 面形微加工技術製造設計微結構懸臂樑、空橋、圓形薄膜空室=Fabrication and Analysis of Surface Micromachining |
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作者 | 林玉興; 蔡聲鴻; 陳育堂; | 書刊名 | 新埔學報 |
卷期 | 19 民91.09 |
頁次 | 頁50-60 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 面形微加工技術; 矽晶; 懸臂樑; 空橋; 圓形薄膜空室; Surface micromachining; Silicon wafer; Cantilever beam; Air bridge; Circular diaphragm; Chamber; |
語文 | 中文(Chinese) |