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來源資料
機電整合
84 民94.08
頁175-181
電機工程
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電燈;照明電器
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題 名
提昇低溫多晶矽製程窗口之技術研發與結晶模擬器製作
編 次
下
作 者
郭啓全
;
陳佳斌
;
鄭正元
;
書刊名
機電整合
卷 期
84 民94.08
頁 次
頁175-181
分類號
448.5
關鍵詞
結晶模擬器
;
準分子雷射
;
低溫多晶矽膜
;
ELC
;
LTPS
;
語 文
中文(Chinese)
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