您的瀏覽器不支援或未開啟JavaScript功能,將無法正常使用本系統,請開啟瀏覽器JavaScript功能,以利系統順利執行。
返回
/NclService/
快速連結
跳到主要內容
:::
首頁
關於本站
網站導覽
聯絡我們
國家圖書館
English
開啟查詢結果分析
查詢資訊
期刊論文索引(找篇目)
期刊指南(找期刊)
近代 (1853-1979年) 港澳華文期刊索引
漢學中心典藏大陸期刊論文索引
中國文化研究論文目錄
期刊瀏覽
檢索歷程
期刊授權
出版機構
公佈欄
常見問題
軟體工具下載
:::
首頁
>
查詢資訊
>
期刊論文索引查詢
>
詳目列表
查詢結果分析
來源資料
機電整合
84 民94.08
頁175-181
電機工程
>
電燈;照明電器
相關文獻
提昇低溫多晶矽製程窗口之技術研發與結晶模擬器製作
提昇低溫多晶矽製程窗口之技術研發與結晶模擬器製作
準分子雷射冠動脈整型術[ELCA]
低溫多晶矽製程之準分子雷射硬體與檢測技術
XeF準分子雷射退火之低溫多晶矽膜特性分析
低溫多晶矽膜再結晶特性與晶粒尺寸之光學檢測系統研發
低溫多晶矽膜表面粗糙度研究
光電檢測技術應用於低溫 多晶矽膜再結晶特性研究
矽膜晶粒尺寸快速光學檢測技術
整合光機電系統快速解析薄膜再結晶特性研究
頁籤選單縮合
基本資料
引用格式
國圖館藏目錄
全國期刊聯合目錄
勘誤回報
我要授權
匯出書目
題名
提昇低溫多晶矽製程窗口之技術研發與結晶模擬器製作
編 次
下
作者
郭啓全
;
陳佳斌
;
鄭正元
;
書刊名
機電整合
卷期
84 民94.08
頁次
頁175-181
分類號
448.5
關鍵詞
結晶模擬器
;
準分子雷射
;
低溫多晶矽膜
;
ELC
;
LTPS
;
語文
中文(Chinese)
頁籤選單縮合
推文
引用網址
引用嵌入語法
Line
FB
Google bookmarks
本文的引用網址:
複製引用網址
本文的引用網址:
複製引用網址