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題 名 | 以金奈米粒子輔助高密度感應耦合電漿化學氣相沉積高密度鍺量子點於氧化矽基板之研究 |
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作 者 | 謝健; 柯宗憲; 陳學禮; 謝嘉民; 戴寶通; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷 期 | 10:3 2003.08[民92.08] |
頁 次 | 頁9-12 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 鍺; 量子點; 金奈米粒子; 感應耦合電漿; 化學氣相沉積; Germanium; Quantum dots; Gold nanoparticles; Inductively coupled plasma; Chemical vapor deposition; |
語 文 | 中文(Chinese) |