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題 名 | 電容式橋型射頻微機電切換器之設計 |
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作 者 | 翁敏航; 林育德; 陳永祥; 戴寶通; | 書刊名 | 奈米通訊 |
卷 期 | 12:1 2005.02[民94.02] |
頁 次 | 頁38-43 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 射頻微機電; 開關; 製程; 電磁模擬; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 摘要 以目前的無線通信架構而言,許多關鍵 性的射頻元件尚無法整合至積體電路中。許 多國內外研究單位已利用微機電技術製作開 發帶通濾波器(Filter)、微型切換器 (Switch)、晶體震盪器及可調式元件等,以期 獲得高品質因素、體積小、價格低及特性佳 的元件,使得單一晶片系統的理想更易於實 現。此外,除了取代現有無線通訊架構之個 別元件,更可以利用微機電元件之好處發展 全新架構,更有利於功率及高頻率效率之改 善。本文將介紹射頻微機電微型切換器(RF MEMS Switch) 之技術與國家奈米元件實驗 室南區辦公室所製作的設計實例。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。