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題 名 | 壓電式光開關之設計與製作 |
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作 者 | 黃世疇; 范文凱; 王珉玟; | 書刊名 | 工程科技與教育學刊 |
卷 期 | 5:3 2008.09[民97.09] |
頁 次 | 頁398-409 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 陶瓷壓電致動器; 光開關; 微射出成形; 類深刻模造製程; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文利用壓電陶瓷本身所具有之壓電效應使光開關產生位移,兩邊懸臂樑變形為相反方向,則可帶動懸壁間之反射鏡面。文中先設計定義一槓桿式機構之光開關外形尺寸,槓桿式機構可使致動器達到位移放大的目的,接著以有限元素分析軟體Ansys進行靜態分析,探討壓電不同參數與改變光開關幾何參數對位移量的影響修正尺寸,最後進行模態分析求得各種自然頻率及所對應之模態振型,可製作出低頻大角度或是高頻掃描器應用的光開關。 在光開關機構部份以微射出成形製程,使成形品可快速且大量生產,成形部分先以模流分析軟體Moldflow模擬得到製程參數,在實際射出時使用田口品質規劃法降低射出成形時之翹曲量,並透過類神經模糊推論系統於翹曲量之預測,可以完整的表現出成形參數及品質變數的定性與定量關係,並且建立一個準確的系統模型,最後再進行實作與量測。當施加電壓50V,槓桿懸臂最大位移為5.88μm。 |
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