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題名 | 應用奈米壓痕量測技術於薄膜之機械性質量測 |
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作者姓名(中文) | 昝世蓉; 顏宏儒; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 213 2004.09[民93.09] |
頁次 | 頁165-170 |
專輯 | 奈米平臺技術特刊 |
分類號 | 440.2 |
關鍵詞 | 奈米壓痕試驗機; 奈米薄膜; 機械性質; Nanoindentation system; Nano thin film; Mechanical property; |
語文 | 中文(Chinese) |