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題名 | 電漿技術在平面顯示器製程之應用=Using Plasma Technology in Flat Panels Display Manufacture Process |
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作者 | 方宏聲; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 258 2004.09[民93.09] |
頁次 | 頁104-109 |
專輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 電漿技術; 平面顯示器; 感應偶合電漿機臺; 電容式電漿; 光阻剝離; Plasma technology; Flat panels display; Inductive coupling plasma; Capacitive coupling plasma; Photoresist stripping; |
語文 | 中文(Chinese) |